槽式濕法刻蝕清洗設備Wet bench設備配置說明：設備類型：Cassette-type & Cassetteless-type，支持SMIF或Foup 晶圓尺寸：15…

設備配置：超聲波震動儀2臺氣槍2只，水槍2只觸摸屏1個（含PLC控制）液位sensor 3個及漏液檢測sensor1對設備功能：可處理wafer破…

設備配置：超聲波震動儀2臺氣槍2只，水槍2只觸摸屏1個（含PLC控制）液位sensor 3個及漏液檢測sensor1對設備功能：可處理wafer破…

設備配置說明：設備電機等部位增加保護罩，門檢interlock等；設備內部操作區設置三防燈，方便觀察；設備設置亞克力透明材料觀察…