超聲波清洗機

設備配置:

超聲波震動儀2臺

氣槍2只,水槍2只

觸摸屏1個(含PLC控制)

液位sensor 3個及漏液檢測sensor1對


設備功能:

可處理wafer破片之后的FOUP

可作為FOUP 或parts 輔助量測設備

可作為FAB內各種parts 清洗機

定期的Auto cleaner monitor FOUP

產能可根據要求設計制作



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