設備配置：

超聲波震動儀2臺

氣槍2只，水槍2只

觸摸屏1個（含PLC控制）

液位sensor 3個及漏液檢測sensor1對

設備功能：

可處理wafer破片之后的FOUP

可作為FOUP 或parts 輔助量測設備

可作為FAB內各種parts 清洗機

定期的Auto cleaner monitor FOUP

產能可根據要求設計制作