超聲波清洗機
設備配置:
超聲波震動儀2臺
氣槍2只,水槍2只
觸摸屏1個(含PLC控制)
液位sensor 3個及漏液檢測sensor1對
設備功能:
可處理wafer破片之后的FOUP
可作為FOUP 或parts 輔助量測設備
可作為FAB內各種parts 清洗機
定期的Auto cleaner monitor FOUP
產能可根據要求設計制作
設備配置:
超聲波震動儀2臺
氣槍2只,水槍2只
觸摸屏1個(含PLC控制)
液位sensor 3個及漏液檢測sensor1對
設備功能:
可處理wafer破片之后的FOUP
可作為FOUP 或parts 輔助量測設備
可作為FAB內各種parts 清洗機
定期的Auto cleaner monitor FOUP
產能可根據要求設計制作