晶圓盒顆粒檢測機

設備配置說明:

設備電機等部位增加保護罩,門檢interlock等;

設備內部操作區設置三防燈,方便觀察;

設備設置亞克力透明材料觀察窗口,及門開關處理。

MES 連接,自動上報

space  chart 系統自動生成

量測精度達0.1um  


所有外殼材質選用SUS316,滿足無塵室用料;

所有進水管材質選用PFA,出水管材質選用SUS316,銜接處做除塵處理;

設備內電機和氣缸選用高防水防塵型號(IP65);

擺動電機部位增加保護罩,防止水濺落上及particle 。


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