晶圓盒顆粒檢測機
設備配置說明:
設備電機等部位增加保護罩,門檢interlock等;
設備內部操作區設置三防燈,方便觀察;
設備設置亞克力透明材料觀察窗口,及門開關處理。
MES 連接,自動上報
space chart 系統自動生成
量測精度達0.1um
所有外殼材質選用SUS316,滿足無塵室用料;
所有進水管材質選用PFA,出水管材質選用SUS316,銜接處做除塵處理;
設備內電機和氣缸選用高防水防塵型號(IP65);
擺動電機部位增加保護罩,防止水濺落上及particle 。