設備配置說明：

設備電機等部位增加保護罩，門檢interlock等；

設備內部操作區設置三防燈，方便觀察；

設備設置亞克力透明材料觀察窗口，及門開關處理。

MES 連接，自動上報

space  chart 系統自動生成

量測精度達0.1um  

所有外殼材質選用SUS316，滿足無塵室用料；

所有進水管材質選用PFA，出水管材質選用SUS316，銜接處做除塵處理；

設備內電機和氣缸選用高防水防塵型號（IP65）；

擺動電機部位增加保護罩，防止水濺落上及particle 。